【摘要】随着超精密机床在民用、国防以及空间科学等领域的需求日益增大,对超精密机床的加工精度和工作性能的要求已越来越高,决定超精密机床性能的因素较多,其中主要取决于其关键部件的性能。导轨副是直接保证超精密机床各运动部件之间相对位置精度和相对运动精度的重要部件。液体静压导轨能够很好的解决普通导轨常遇到的振动与摩擦问题,因此液体静压导轨无疑是超精密机床导轨系统选择的最佳方案之一。为保证液体静压导轨具有高 […]