【摘要】自从1962年发现ZnO材料的电导率会随环境气氛发生变化以来，有关ZnO基气、湿敏传感器的研究就一直受到人们的关注。近年来，随着纳米科技与相关制备工艺的快速发展，ZnO基敏感材料的制备技术已臻成熟，如何提高传感器的敏感性能成为研究的重点。本文从纳米ZnO的结构与形貌控制、掺杂、复合和修饰出发，制备了几种ZnO基材料体系，并通过制作传感器原型器件，对其相应的湿度或气体敏感性能研究，分析了相关 […]