【摘要】传统的高精度MEMS加速度传感器，常用机械振动台进行标定，这种标定方法操作繁琐、标定效率低下。而随着高精度MEMS传感器大批量生产，振动台逐个标定的方法弊端更加明显，无法满足批量标定的要求。据此本文采用动态静电力模拟标准加速度信号，从而实现电容式MEMS传感器的自标定，以提高电容式高精度微加速度传感器的标定效率。第1章阐述了本文的研究目的和意义。首先介绍了传感器标定的目的及意义以及标定方法 […]