【摘要】非晶碳(a-C)薄膜具有低的摩擦系数、高的硬度、优异的耐磨性能以及良好的生物相容性,在摩擦学和生物医学等领域具有很大的应用前景。然而,膜生长过程中产生的高内应力和高硬度容易导致薄膜的结合失效,限制其在表面保护工程方面的实际应用。本文把元素掺杂、功能梯度结构、多层结构应用于非晶碳基薄膜的设计当中,并探索了薄膜组织结构和机械性能的变化规律与内在机理。采用磁控溅射法制备出厚度约为1.5μm的含钛 […]