【摘要】基于静压气浮支撑和直线电机驱动的气浮定位工作台是一种典型的精密机械结构。静压气浮支承因其具有精度高、寿命长、摩擦阻力小、清洁等优点,在精密、超精密测量和微纳加工等领域得到广泛应用。而直线驱动结构简单,刚度高,推重比大且不存在中间传递环节,极大的提高了加工效率和加工精度。直线驱动气浮定位平台是一个机电一体化系统,它需要应用到静压气体导轨技术、直线驱动技术、数控技术和自动控制原理等多种技术,其 […]