【摘要】红外传感器近年来在军事和民用市场得到了非常快速的发展，尤其在航空航天和数码产品中都得到了广泛的应用。红外热释电传感器是目前非制冷红外探测器研究的热点，特别在目前发展非常快速的可穿戴设备上拥有很高的应用潜力。红外传感器目前正超着阵列化、小型化、低成本的方向发展。本文的研究工作主要分为以下几个方面：1.首先对探测器的结构进行了分析，设计了制备探测器的工艺流程，主要对热释电晶体的减薄和抛光进行了 […]