【摘要】原子力显微镜（AFM）作为纳米检测技术的基本工具之一，已经在研究纳米尺度物质的结构和特性方面取得了令人惊叹的发展，但是随着应用领域的不断扩展以及对精密测量和定位技术的要求越来越高，要求AFM具有更高的空间分辨率，更快的扫描速度，和更好的抗干扰能力。依据AFM工作的基本原理，我们自行设计和研制了让悬臂可以工作于不同振动模态的多模态原子力显微镜系统。论文主要介绍了已经完成的几项工作内容：1、完 […]