【摘要】在一些特征尺寸的微尺度器件、机械或系统中，常常要使用微结构功能表面，这些微尺度器件、机械或系统在信息、能源、环境、生物、医学、国防等领域有着重要的市场应用前景。超精密机械压印是获得微尺度或纳尺度结构表面的重要方法之一，该方法采用微尺度金刚石压头或嵌有微纳结构的金刚石压头，通过压头作连续高频的椭圆冲压运动，从而快速获得模具表面微或纳结构，再利用具有微结构表面的模具批量复制微结构功能表面器件。 […]