【摘要】微电子产业作为经济时代的基础产业,它在国民经济、国防建设以及现代信息化社会中起着极其重要的战略意义。它包括设计、制造和封装三个独立的产业。其中,微电子元器件的封装随着微电子产业的发展也变得越来越重要。引线键合作为芯片封装中最常用的一种技术,随着芯片封装技术朝着高集成化、高性能化、多引线化和细间距化的方向发展,引线键合技术的键合精度要求也越来越高。引线键合工艺过程中的每个步骤都涉及到定位问题 […]