【摘要】MEMS技术是一个前沿的技术研究领域，广泛涉及到多个学科：机械学、电子学、热力学、物理学、生物学、化学等多个学科，各个学科之间产生交叉耦合作用。目前，MEMS器件中的机械动作应用最多的是静电力驱动。同时，梳齿式结构成为MEMS器件的典型结构，在MEMS器件中有着广泛的应用：微机械谐振器、叉指式微机械加速度计、微镜、微泵等。因此，具有静电驱动原理和梳齿式结构的MEMS器件成为专家学者研究的重 […]