【摘要】高灵敏度检测器是太赫兹科学与技术研究与应用的关键部件之一,在物体成像、射电天文、医疗诊断等研究领域具有广泛的应用前景。Nb5N6microbolometer检测器,室温工作、制备工艺简单,在太赫兹波段具有检测灵敏度高,响应时间快,便于集成超大规模阵列等优势,为太赫兹信号检测和成像提供了一条有效的技术途径。论文系统研究了平面天线耦合的Nb5N6microbolometer检测器、集成衍射微透 […]