【摘要】基于双光子聚合的飞秒加工突破了光学衍射极限，使加工尺度达到纳米级，作为一种新型的超精密加工方式受到了越来越多人的关注。但是目前其加工装置仅仅用于实验阶段，它所加工的工件的微观尺寸、宏观尺寸和加工精度之间的矛盾极大的限制了它的推广和商业化，因此本文对当前的加工装置进行整合，研制一套飞秒加工系统，它具有系统集成化、宏观和微观尺寸相协调、加工效率高等优点。本文首先设计了一套飞秒加工系统，包括光学 […]