【摘要】铁电材料由于其铁电、压电和热释电等特性,在非挥发存储器、传感器、非线性光学器件和微机械系统等领域有着非常广泛的应用。近些年,由于器件小型化和集成度越来越高,对铁电材料微纳加工技术的要求也越来越高。如何减少纳米结构加工过程中对铁电薄膜的损伤,保持其良好的性能,是当今微纳加工技术领域的一大挑战。同时纳米结构下铁电材料性质的研究不仅仅对基础理论研究有着重大意义而且也有助于该材料在新的领域的应用开 […]