【摘要】大气等离子体抛光技术是新兴的、高效的、可取代传统加工方法的一种新的表面加工办法,不会造成被加工工件表面或亚表面损伤,且其成本低、无污染、适用范围也比较广。已广泛应用于精密光学元件的加工中,且成为国防、天文探测等诸多领域光学元件加工的关键技术。本文通过大气射流等离子体抛光法对工件的高效率的刻蚀抛光,来对等离子体无损快速抛光工艺进行研究,其核心是探索和研究出能够实现快速无损有效的等离子体快速抛 […]