【摘要】随着光学科学领域的迅速发展,光学系统越来越精密,对光学元件的质量要求也在逐渐严格,不仅仅是要求其具有很好的表面光滑度,还要求不能存在亚表面损伤。在磨抛加工过程当中,光学元件将不可避免地会产生亚表面损伤,从而直接降低整个光学系统的成像质量、抗激光损伤阈值和持久稳定性等重要指标。因此,对光学元件磨抛光加工亚表面损伤的有效检测十分有利于确定后续步骤中的材料去除量以达到低亚表面损伤的目的。本文分析 […]