【摘要】随着光学科学领域的迅速发展,光学系统越来越精密,对光学元件的质量要求也在逐渐严格,不仅仅是要求其具有很好的表面光滑度,还要求不能存在亚表面损伤。在磨抛加工过程当中,光学元件将不可避免地会产生亚表面损伤,从而直接降低整个光学系统的成像质量、抗激光损伤阈值和持久稳定性等重要指标。因此,对光学元件磨抛光加工亚表面损伤的有效检测十分有利于确定后续步骤中的材料去除量以达到低亚表面损伤的目的。本文分析 […]

【摘要】随着科技的发展,光学元件在生产生活以及科技和军事中伴有越来越重要的地位,而在光学元件的生产过程中,通常在切割,铣削,成型,粗磨,精磨,抛光,表面是平滑的,但难免会有缺陷,如划痕,擦痕,边缘破损,气泡,凹坑和破点等,缺陷的存在,不仅影响到美观的成分,也会影响系统的组成和功能。由于划痕或者破边等缺陷相对于来说几何尺寸较大,具有在长度以及宽度方向上体现较为明显的特征,目前对于光学元件疵病或损伤的 […]