【摘要】随着科学技术的不断发展和人类生活水平的不断提高,近年来出现了各种各样的传感器。高精度位移传感器是一种新型的传感器,相对于其它大位移传感器,高精度位移传感器具有其独特的优势。这类传感器的结构比较多,其主要的特征是电极呈栅状,因此也被称为容栅式位移传感器。当电极之间发生平行移动时,相对覆盖面积发生变化,从而电容量随之发生改变,实现几何量的测量。因此,具有广泛的应用。本文第一章首先介绍容栅式位移 […]