【摘要】本文在介绍工业化生产多晶硅太阳电池工艺流程的基础上,着重介绍等离子刻蚀周边工艺以及冶金硅太阳电池的对比实验。刻蚀工艺是制造晶体硅太阳电池的重要环节,刻蚀工艺的好坏直接关系到太阳电池的整体性能,特别是太阳电池的漏电。因此掌握好刻蚀工艺对于制造太阳电池是重要和必要的。冶金硅太阳电池的漏电情况相对于化学法提纯硅的电池更为突出,为提高冶金硅太阳电池的转化效率、降低漏电,进行磷吸杂前过二洗与不过二洗 […]