【摘要】太阳能发电是解决全球能源危机的有效途径，电子信息产业是改变人类生活方式强有力的助推器，硅晶片作为电子信息产业和光伏产业的基底元件需求旺盛，传统的硅片切割技术已经不能满足市场对其产量和质量的要求。目前，具有切割直径大、出片率高、切口损耗少、切片表面质量好等优点的多线切割机已经成为硅片切割领域的主流，然而多线切割机的关键技术多年来一直掌握在发达国家手中，因此研究多线切割机的关键技术开发我国自主 […]