【摘要】采用磁过滤电弧离子镀(MFAIP)方法在高速钢表面制备了TiN薄膜,采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪,显微硬度计和划痕仪等方法研究了偏压和磁过滤电流对TiN薄膜的形貌、沉积速率、组织结构和力学性能的影响。结果表明:MFAIP-TiN薄膜膜层均匀,表面质量好,膜与基体结合紧密。随着偏压和磁过滤电流的增加,TiN的(111)晶面择优取向越来越弱,(311)和(222)晶面的择优取向逐渐增强。当 […]