【摘要】近些年，随着MEMS、超精密加工等技术的快速发展，许多测量仪器都在往纳米级甚至亚纳米级的分辨率和精度方向发展。而激光干涉测量技术在位移测量中具有精度高，范围大的特性。在激光干涉测量中，信号处理方法在很大程度上影响着测量精度。为了达到纳米级的测量精度，如今许多激光干涉仪的研究主要集中在对干涉信号的处理方法上。论文介绍了偏振光的相位调制干涉位移测量的原理和载波方式，如何对相位调制干涉测量系统的 […]