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阴极弧沉积含氮二氧化钛薄膜对成骨细胞生物活性影响的实验研究 06月04日

【摘要】第一部分人工关节钛假体表面阴极弧沉积含氮二氧化钛薄膜的制备及表征测试目的:利用真空脉冲磁过滤阴极弧等离子体制备二氧化钛及含氮二氧化钛薄膜,并对其表面特征进行检测。方法:采用真空脉冲磁过滤阴极弧等离子体二氧化钛及含氮二氧化钛薄膜,分别采用纯氧气及氧/氮混合气氛,进行沉积;技术参数为:直流电压40V、负偏压-500V;脉冲占空比15%、脉冲频率7Hz、脉冲宽度2000μs;沉积时间2小时。样品 […]