PECVD制备光学薄膜均匀性控制技术研究

【摘要】等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,简称PECVD)是借助于辉光放电等离子体使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种制备技术。通过控制薄膜制备工艺参数的变化,从而获得各个其对制备不同折射率光学薄膜厚度均匀性的影响趋势。研究PECVD制备光学薄膜均匀性控制技术,明确光学薄膜制备过程中均匀性的控制方法,对于采用PECVD技术制备光学薄膜的应用有着广泛的意义。本文采用PECVD技术分别在Φ150mm的B270和硅片基底上沉积了光学薄膜,研究了高折射率、中间折射率以及低折射率膜层的光学厚度均匀性,分析了不同工艺参数对薄膜的光学厚度均匀性的影响。研究结果表明,PECVD技术沉积光学薄膜,在Φ150mm范围内薄膜折射率均匀性优于几何厚度,光学厚度均匀性主要源于几何厚度分布的不均匀。当采用高折射率薄膜最佳工艺沉积时,所得薄膜平均折射率为1.87(550nm处),平均几何厚度为106nm时,光学厚度非均匀性为3.9%；当采用中间折射率薄膜最佳工艺沉积时,所的薄膜平均折射率为1.47(550nm处),平均几何厚度为195nm时,光学厚度非均匀性为4.2%；当采用低折射率薄膜最佳工艺沉积时,所的薄膜光学薄膜平均折射率为1.40(550nm处),平均几何厚度为137nm时,光学厚度非均匀性为4.6%。
【作者】刘昊轩；
【导师】杭凌侠；
【作者基本信息】西安工业大学，光学工程，2014，硕士
【关键词】PECVD；光学薄膜；光学厚度；非均匀性；

【参考文献】
[1]张正威.我国五位一体现代化建设总布局研究[D].西安工业大学,马克思主义中国化研究,2014,硕士.
[2]胡小锋.防老剂D与BHT标准物质的研制及橡胶热氧老化研究[D].西北工业大学,高分子材料,2004,硕士.
[3]李茜.我国存款保险制度中道德风险防范的法律对策研究[D].山西财经大学,经济法,2014,硕士.
[4]朱治中.电力市场竞争监视机制[J].电力系统自动化,2007,07:16-19.
[5]凌维慈.论我国土地征用补偿制度与公民生存权之保障——以Z村为研究对象[D].华东政法学院,宪法学与行政法学,2003,硕士.
[6]张金凤.A European Contract Law for Consumers and Businesses翻译实践报告[D].曲阜师范大学,翻译（专业学位）,2013,硕士.
[7]樊铓.中小型台资企业大陆员工激励问题研究[D].首都经济贸易大学,企业管理,2013,硕士.
[8]綦振法,徐福缘.MIS的发展与企业组织创新[J].华东经济管理,2001,01:29-31.
[9]马天祥.集成保护在变电站自动化系统中的应用研究[D].华北电力大学,电力系统及其自动化,2012,硕士.
[10]喻强.中国共产党民生思想研究[D].沈阳理工大学,马克思主义中国化研究,2013,硕士.
[11]郭淑敏.艺术是人类情感符号形式的创造——论苏珊·朗格之艺术新界定[D].河北大学,艺术学,2003,硕士.
[12]曾晨,孙宏磊,蔡袁强,王鹏.简谐荷载作用下饱和土体中圆形衬砌隧道三维动力响应分析[J].岩土力学,2014,04:1147-1156.
[13]张念.铜离子织物烂花工艺研究[D].东华大学,纺织工程（专业学位）,2014,硕士.
[14]张周.Bmi-1和MMP-2、E-cadherin在膀胱移行细胞癌中的表达及相关性研究[D].河北医科大学,外科学,2013,硕士.
[15]张泽龙.大倾角综放条件下老顶来压步距的综合预测[D].西安科技大学,采矿工程,2013,硕士.
[16]庞钦月.“临川四梦”神话意象研究[D].渤海大学,中国古代文学,2014,硕士.
[17]张二鑫.我国区域间消费与经济增长差异性实证研究[D].河南科技大学,应用数学,2013,硕士.
[18]郭军.城市化进程中城市建设管理问题研究——以深圳市宝安、龙岗两区为个案[D].重庆大学,建筑与土木工程,2003,硕士.
[19]刘兴元.Li_2O-Nb_2O_5-TiO_2微波介质陶瓷及低温烧结研究[D].浙江大学,材料学,2004,硕士.
[20]傅晓霞,吴利学.前沿分析方法在中国经济增长核算中的适用性[J].世界经济,2007,07:56-66.
[21]高红霞.关联理论视角下中国政府新闻发布会模糊语汉英交替传译探究[D].西南交通大学,外国语言学及应用语言学,2013,硕士.
[22]焦波,黄赪东,黄飞,李伟.一种基于最优可能满意度的群AHP判断矩阵集结方法[J].控制与决策,2013,08:1242-1246.
[23]邱均平,黄晓斌.网络用户使用记录的计量分析[J].现代图书情报技术,2002,05:50-55.
[24]骆佳.历史文化名城绿地系统规划研究[D].华中科技大学,风景园林,2013,硕士.
[25]黄汝宏.建筑给排水管材的回顾与展望[J].中国住宅设施.2003(07)
[26]文成国.大力抢救保护民间文化资源推动社会主义文化事业繁荣发展[J].三峡大学学报(人文社会科学版),2003,06:10-13.
[27]何特.石墨烯合成工艺与GR/环氧树脂复合材料的性能研究[D].南昌航空大学,材料工程（专业学位）,2012,硕士.
[28]邓文青.大明宫遗址周边地铁站设计导则研究[D].西安建筑科技大学,建筑与土木工程,2013,硕士.
[29]袁燕妮.基于本体的电信产品信息融合服务框架研究与实践[D].北京邮电大学,2008.
[30]张荷心.基于人因工程学理念的座椅系统综合评价研究[D].南京理工大学,工业工程,2012,硕士.
[31]张良.亚临界条件下水葫芦的水热液化研究[D].复旦大学,环境科学,2012,硕士.
[32]徐广顺.东北地区走新型工业化道路问题研究[D].吉林大学,马克思主义理论与思想政治教育,2004,硕士.
[33]蔡吉榛.湛江近海域沉积物中DlPCBs对斑马鱼胚胎组织结构和CYP1A的影响[D].广东海洋大学,动物营养与饲料科学,2013,硕士.
[34]高妮.地方治理中的权力配置问题研究[D].西安建筑科技大学,马克思主义理论,2013,硕士.
[35]梁萍平.嵌入性和海归创业绩效的研究[D].浙江工业大学,技术经济及管理,2012,硕士.
[36]原庆.X波段振荡器设计[D].电子科技大学,通信与信息系统,2012,硕士.
[37]ГаоХань.Исследование кризиса идентичности русской культуры с аспекта национальной безопасности–на примере пьесы?Апокалипсис от Фирса,или Вишнев?[D].西安外国语大学,俄语语言文学,2014,硕士.
[38]许柯.基于悬架K&C特性的整车操纵稳定性优化[D].湖南大学,车辆工程,2014,硕士.
[39]李玉玲,张仲超.电流型变流器在电网电压不平衡时的控制[J].电力系统自动化,2005,16:72-75.
[40]徐峰.工程总承包企业发展对策研究[D].河海大学,2005.
[41]李霓.基于Flex平台的企业能效管理系统的设计与实现[D].吉林大学,软件工程,2014,硕士.
[42]王本超.电动汽车纵向速率跟踪控制的方法研究[D].哈尔滨工业大学,控制科学与工程,2014,硕士.
[43]钟宏瑜.石刻碑帖的数字化拓片研究[D].哈尔滨工业大学,控制工程,2013,硕士.
[44]张民.保险公司财务信息披露研究[D].首都经济贸易大学,金融学,2004,硕士.
[45]杜天军,陈光(?),谢永乐.利用内插优化技术解决谐波检测小波混叠[J].电力系统自动化,2005,05:62-68.
[46]马征征.基于蒙特卡罗的移动节点定位算法研究[D].河北师范大学,无线电物理,2013,硕士.
[47]金胡格吉乐吐.林权管理信息系统的开发与应用[D].内蒙古师范大学,地图学与地理信息系统,2013,硕士.
[48]丁笑梅.英国学校发展性督导评价改革研究[D].华东师范大学,比较教育学,2002,硕士.
[49]赵春风.基于铁氧体与镀镍碳纳米管微波吸收性能研究[D].西安电子科技大学,电子与通信,2012,硕士.
[50]刘云峰.桥式混匀斗轮取料机取料机构的研究与改进[D].太原科技大学,机械设计及理论,2013,硕士.