【摘要】随着城域网建设的加快，更高速率、更大容量的信息传输成为了热点，人们希望得到更好的网络服务，但也希望有更低的消费支出，在这样的背景下，粗波分复用(CWDM，CoarseWavelengthDivisionMultiplexing)以其更低造价、较高速率、更好的适应性得到了日益广泛的应用。本文以法布里-珀罗滤光片为基础设计了单通道薄膜滤光片和多通道薄膜滤光片，用于CWDM系统的复用/解复用，并 […]

【摘要】波状多层膜结构是一种二维光子晶体。电磁波在其结构内传播时,由于其能带结构的差异,TE模和TM模并沿着不同的方向传播,实现偏振分束。基于波状多层膜结构的偏振分束器体积小,容易集成,可实现轴对称偏振,吸引了众多研究人员的关注。目前所报道的基于波状多层膜结构设计出来的偏振分束器大部分在红外波段,而可见波段处的偏振分束器仅有100nm的带宽。而且由于其能带结构复杂,在已有的报道中都没有详细的优化过 […]

【摘要】等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,简称PECVD)是借助于辉光放电等离子体使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种制备技术。通过控制薄膜制备工艺参数的变化,从而获得各个其对制备不同折射率光学薄膜厚度均匀性的影响趋势。研究PECVD制备光学薄膜均匀性控制技术,明确光学薄膜制备过程中均匀性的控制方法,对 […]

【摘要】等离子体增强化学气相沉积(Plasma-EnhancedChemicalVaporDeposition,简称PECVD)技术制备光学薄膜有其独特的优点,通过控制薄膜制备工艺参数变化可以获得不同折射率的光学薄膜,且所制备的光学薄膜物理特性优良。研究PECVD技术制备光学薄膜的折射率控制技术,明确制造过程中光学薄膜折射率控制方法和精度,有助于采用PECVD技术制备渐变折射率等特种精密光学薄膜。 […]