【摘要】陶瓷涂层作为一种具有极高硬度的材料,在不改变基体外形和尺寸的前提下,通过一定方法沉积在基体表面,能够有效改善基体的耐磨性能、力学性能和使用寿命等。随着表面工程技术的快速发展,高性能陶瓷涂层的制备技术逐渐丰富,应用领域不断扩大,使用高性能陶瓷涂层的装置和零部件也越来越多。其中,TiN和TiAlN陶瓷涂层具有较低的摩擦系数、较高的熔点和硬度以及良好的耐磨性能等优点,已广泛应用于机械和微电子等工 […]