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外延生长二氧化铈薄膜及其阻变性能研究 09月18日

【摘要】CeO2是最受广泛关注的稀土氧化物材料之一,在微电子、缓冲层材料、催化剂、气敏传感器等诸多领域有着广阔的应用前景。本论文采用激光分子束外延(LMBE)和磁控溅射(MS)在不同衬底上制备了CeO2薄膜,利用RHEED.HRXRD.HRTEM.XPS等手段对薄膜进行了表征和分析。并通过光刻、离子刻蚀等微电子加工工艺制备了相应原型器件,研究了CeO2用作阻变存储材料的基本性能。具体内容如下:(1 […]