【摘要】现代信息技术的快速发展,对新一代非易失性存储器提出了更大存储密度,器件尺寸更小化,更快读/写速度等新要求。自从20世纪60年代氧化物薄膜电阻开关特性发现至今,基于金属-绝缘体-金属结构的氧化物薄膜阻变随机存储器凭借存储速度快、功耗低、结构简单、可高密度集成等优点迅速成为除铁电随机存储器、磁电阻随机存储器和相变随机存储器外的另一种新型快闪存储器件。最新研究发现HfOx薄膜和γ-Fe2O3颗粒 […]