【摘要】光学薄膜的光谱特性与膜系中每一层薄膜的光学厚度密切相关,为了使镀制的光学薄膜符合性能指标,必须对每一层膜厚进行实时监控。随着科学技术的高速发展,人类对光学仪器的性能指标提出了更高的要求,光学薄膜的光学性能指标也相应地提高了,对膜层厚度的监控精度要求也就越来越高。石英晶振法作为光学薄膜任意厚度监控的主要方法,对薄膜的质量厚度实时监控,该方法对每一层光学薄膜的监控精度非常高。而由于光学监控具有 […]