【摘要】超光滑光学元件要满足其表而具有较低散射率以及较低粗糙度；并且保证表面晶格的完整性的要求,以达到高反射的口的。离子束沉积修正抛光技术作为一种新兴的表面加工方法,能够获得较低的表面粗糙度,本文主要围绕离子束沉积修正抛光系统的设计及加工过程进行了介绍,并且.讨论了抛光过程中存在的问题并对离子束沉积修正抛光这项新技术进行了初步研究。本文对离子束沉积修正抛光的相关工艺实验进行研究,介绍了离子束沉积修 […]