【摘要】具有纳米级加工精度超精密加工技术是现代制造技术的前沿领域，使具有纳米级形状精度和尺寸精度器件的制造和应用成为可能。由于被加工材料的尺寸达到纳米量级时，加工中出现了显著的表面效应、量子效应和尺寸效应，材料变形和去除机制发生了明显的变化，使具有纳米级加工精度超精密加工理论与传统机械加工有着本质的不同。基于经典连续介质力学建立起来的理论和方法在纳米尺度的超精密加工中不再适用，必须采用以离散介质为 […]