【摘要】立方氮化硼(cBN)薄膜拥有十分好的物理化学性能,与金刚石薄膜相比较,温度低于1373K时不会与铁系金属材料反应,同时具有宽带隙(6.4eV)、高的击穿电场强度、低的介电常数,较易实现p/n型掺杂、灵敏的紫外光响应,使得其在力学、电学、光学等领域具有十分诱人的应用前景。这些应用的前提是要制备出优质的cBN薄膜,但是,目前cBN薄膜的制备技术无一例外地都需要荷能粒子轰击薄膜,这往往使得薄膜中 […]