【摘要】离轴筒状超光滑非球面主要应用于软X射线/极紫外波段的掠射光学系统，是用于空间天气预报的软X射线望远系统的主要结构。目前，面形检测是研制筒状非球面的关键和难点。国内由于缺少筒状物镜非球面面形检测方法与设备已严重制约了我国软X射线空间探测望远镜及相关光学仪器设备的研制。细光束干涉扫描方法是当前国际上用于非常规光学元件面形测量的先进技术之一。针对离轴筒状非球面的检测，本文基于细光束干涉原理设计了 […]