【摘要】太赫兹技术是被誉为未来重要的十大技术之一,有关太赫兹技术的研究是当今国际研究领域的前沿和热点。关于太赫兹技术源与耿氏器件的关键技术的研究的探索,得到国际国内研究机构的很大关注。耿氏器件是太赫兹振荡源不可或缺的核心器件之一。本论文旨在研究磷化铟材料的耿氏源的关键技术与工艺,其中核心器件的研究与工艺的开发是目前国内研究的重点,探索目前国内的常规技术与微电子制备耿氏器件的工艺相结合,以解决耿氏器 […]