【摘要】镶嵌于二氧化硅中的硅纳米晶是一种新型光学材料。与体块硅相比,其具有光致发光,电致发光甚至受激辐射的性质；与其它Ⅲ-Ⅴ族半导体发光材料相比,其具有与现代硅工艺兼容,制备简单,成本低廉和安全无毒等特性；与其它纳米结构硅材料如多孔硅相比,其又具有稳定的物理结构和化学性质。正由于具备这些优点,近年来硅纳米晶作为一种发光材料成为研究热点。本文工作主要分为以下几个方面：1,研究了硅纳米晶的制备及表征及 […]