【摘要】真空封装是很多MEMS器件正常工作和提高器件性能的必要保障，因此微型真空腔体的气压值测量和检测就成为一项重要的研究课题。MEMS皮拉尼真空计不仅具有灵敏度高和测量范围宽等优越性能，而且体积小、重量轻、热响应迅速等优点，并且采用标准体硅工艺，便于与其它MEMS器件相集成。本研究小组提出了一种体硅微热缝隙式MEMS皮拉尼真空计，具有高深宽比、双热沉结构等结构特点。本论文设计并制备了具有不同物理 […]