【摘要】随着科学技术的发展,平面微透镜阵列因排列密集、光性均匀、集成度高等优势成为微小光学领域重要的元件之一。在微电子技术基础上,光学微加工技术快速发展。光刻工艺和离子交换技术因制作过程简单,工艺参数稳定且易于控制等特点而成为重要的制备方法之一。为提高平面微透镜阵列的填充系数,利用光刻工艺和离子交换技术制作出性能良好、填充率近达100%的方形孔径平面微透镜阵列。对方形孔径平面微透镜阵列的透镜元及相 […]