【摘要】本论文以有序纳米结构在高灵敏度生化传感领域的广泛应用为背景，针对目前纳米颗粒薄膜及其有序结构自组装的大面积、低成本、可控制造等技术瓶颈，以银为示例材料，在本实验室成员已有研究的基础上，对大面积有序纳米结构可控制备方法和工艺技术展开相应基础研究。主要开展了如下的三种自组装制备工艺：基于OstwaldRipening效应的纳米颗粒薄膜制备技术：采用传统的磁控溅射镀膜工艺，对已沉积纳米薄膜硅片基 […]