【摘要】蓝宝石具有硬度高、熔点高、耐磨性好、高温下化学稳定性好,光学穿透带很宽等优良性能,是第三代半导体材料GaN最重要的产业化衬底,也是制作智能手机摄像头、保护屏等零部件的新材料,在工业、军事、科研高科技领域已得到了广泛应用。激光背向湿式蚀刻加工具有热影响区域小、加工质量好等优点,适合于对透明材料打孔、划槽、切割,具有良好的应用前景。激光背向湿式蚀刻加工过程中光致气泡及微射流对加工有很大影响,液 […]