【摘要】随着微器件的商业化,非常态工作环境成了影响器件高精度与可靠性获得的重要因素。作为这些微结构的核心元件,微谐振器在非常态环境下的谐振特性研究变得越来越重要。本论文以微谐振器为研究对象,设计温度敏感与阻尼敏感两类谐振器结构,从理论推导、建模仿真与实验验证三方面研究微谐振器谐振频率的温度变化规律,以及系统阻尼与真空关系。主要研究内容和成果如下：1)简述典型支撑梁固有频率的温度系数模型,梳理支撑梁 […]