【摘要】铁电薄膜同时具有铁电性与压电性,因在微电子器件设计中拥有巨大的应用潜力而倍受关注。铁电薄膜已被提出可用于构造铁电电容器、铁电场效应管和非挥发性铁电存储器等电子器件,而高质量铁电薄膜的获得是其性能研究与应用的前提。随着薄膜制备方法的改进以及设备的改良,可以通过多种手段获得高质量的铁电薄膜。其中,脉冲激光沉积(PLD)方法被广泛应用于复杂氧化物薄膜的外延制备,因为采用该方法可以获得与靶材组分相 […]