【摘要】微型槽结构广泛应用于国防科技、民用工业领域。特别随着光纤入户工程的启动和实现全光通讯的迫切要求,作为光纤连接接头重要部件的微V型槽结构蕴藏着巨大的市场。微V型槽结构表面的加工方法各异,其中超精密加工是制造微光学结构表面的一种非常有效的方式。美国、德国、日本等国家在超精密加工工艺,超精密加工机械及其控制系统方面的成果显著,而国内技术相对落后,对超精密加工技术的研究尚处于起步阶段。推进国家光纤 […]