【摘要】随着非球面等光学元件的广泛应用,光学元件正向小型高精度化和大型高精度化的方向发展,因此对光学元件的加工与检测提出了更高的要求。各国投入了大量的人力、物力研究光学元件的加工和检测,但目前国内的相关研究主要针对小尺寸元件的检测,对大尺寸元件的检测技术仍处于起步阶段。本文基于自主研发的大尺寸光学元件面形检测平台,对检测平台机构误差进行了分析和测量,同时对误差建模与误差补偿技术进行了系统研究,主要 […]