【摘要】本文分别从理论上和实验上研究了在两种不用的感光聚合物材料上形成主动性和被动性的表面起伏光栅：负性光刻胶材料和偶氮苯共聚物材料。他们的结构形成机理都是由于质量运输效应。然而,在这两种不同的材料中,质量运输效应分别把他们的分子推向相反的两个方向。本文的制造工艺是基于干涉光刻技术,这种技术可以实现大面积而且均匀的结构制造。论文的第一部分研究了在负光刻胶材料(SU8)上面分别制造了一维和二维负性周 […]