【摘要】本文通过对Cu原子在Cu(100)表面的扩散、Cu原子岛在Cu(100)表面的构型演化以及Cu薄膜的二维MonteCarlo脉冲沉积的模拟,研究与Cu薄膜在Cu(100)表面沉积初期相关的微观动力学过程。先构造了一个由4×4×5个Cu原子组成的超晶胞、并采用周期性边界条件来模拟Cu(100)衬底表面,计算了在Cu(100)表面的不同构型中活跃Cu单原子的扩散势垒,在此基础上对Cu […]