【摘要】亚波长金属光栅结构是近年来迅速发展起来的纳米功能元件之一。将亚波长光栅结构和GaN基LED发光芯片集成一体，在提高出光效率的同时，使LED具有直接偏振出光功能，对掌握光电子器件核心技术具有重要的意义。这种高效偏振出光的LED在集成光子学、光电子器件和新型光显示技术等都有着广阔的应用前景。本论文主要对GaN基LED表面的亚波长金属光栅结构的理论设计和制作方法展开了研究，主要包括以下几方面：1 […]