【摘要】平板显示器的技术发展使得柔性显示器逐渐成为发展趋势,而超薄不锈钢基板的出现改善了传统柔性显示衬底在工艺特性上的缺陷。化学机械抛光作为一种新型抛光方法,又进一步满足了高质量、低损伤的技术要求。然而化学机械抛光工艺过程复杂,影响因素较多。抛光过程参数的变化对其化学及物理作用产生影响,其中动态压力和抛光温度的变化更是直接与抛光表面质量有关。由于抛光环境的复杂性及抛光过程参数变化特征导致了这两种动 […]

【摘要】在现代激光技术的应用发展中,激光核聚变装置、高能激光、红外热成像、卫星等精密光学系统对先进光学元件都有极大的需求,且对光学元件表面质量的要求也越来越高。大量研究表明光学元件表面质量会对整个光学系统造成巨大的影响。高质量的光学元件不仅需要先进的制造技术,更需要合理的检测手段保证表面误差在一定的范围内,使其满足性能要求,这是尤为重要的。由于光学表面传统评价方法存在诸多不足,文章基于光学表面的分 […]