柔性LED阵列器件的结构设计及制备研究

【摘要】现代社会科技飞速发展，已经完全进入信息化时代。对于手机、电视、游戏机等高科技产品的分辨率要求越来越高。同时也对微小尺寸提出更高的要求。LED因为亮度高、工作电压低、功耗小、体积小、寿命长、耐冲击和性能稳定等优越的特点已成为现代显示领域的主要研究目标。将LED通过与传统的MOEMS技术相结合，可制作出分辨率更高、可挠性好、能贴附在任意曲面或不规则物体表面的的显示器即微型柔性LED阵列。微型柔性LED不但具有传统LED的优点，它还可以任意弯曲，所以在显示、军事、医疗、日常生活等多方面得到应用。本论文进行了微型柔性LED阵列理论及实验研究。首先，介绍了微型柔性LED阵列的应用及发展历程。其次，对微型柔性LED所采用的外延片的PN结进行理论分析，得出当器件的工作电压为2V-2.33V时，能够使芯片组取得较好的工作一致性。然后，根据理论研究及实际应用需求，提出了器件的结构框架，确定了μLED单元的横向尺寸、厚度、间距以及上下电极的基本形状、结构尺寸和布线形式。然后，对柔性阵列器件的结构连接材料和柔性衬底进行选择，并且对与器件制作工艺兼容的柔性材料的制备技术及成型工艺条件进行了研究，如其涂覆、成膜及刻蚀条件等。最后，研究采用MOEMS工艺对通用的外延片进行像素分割的技术方法。本学位论文主要针对适用于柔性器件制作的衬底减薄与隔离沟槽的制作方法进行了研究，并且对高掺GaP、GaP、AlGaInP和n-GaAs刻蚀技术进行了深入研究。
【作者】高丹；
【导师】王维彪；梁静秋；
【作者基本信息】中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)，光学工程，2013，硕士
【关键词】微型柔性LED阵列；AlGaInP；聚酰亚胺；MOEMS技术；隔离沟槽；

【参考文献】
[1]孙蕾,蔡亮.顾客关系管理中的数据挖掘技术[J].江苏统计,2002,09:9-10.
[2]石云飞.VPS系统全景图生成平台的研究[D].西安建筑科技大学,机械设计及理论,2004,硕士.
[3]陈海.教务管理信息系统设计与实现[D].电子科技大学,软件工程（专业学位）,2012,硕士.
[4]江正伟.高校思想政治教育生活化模式研究[D].南京财经大学,思想政治教育,2012,硕士.
[5]孙杰.对企业传播及其要素的研究[D].中国社会科学院研究生院,新闻学,2003,硕士.
[6]周松林.电液伺服阀喷嘴挡板组件流固耦合分析及主阀温度场分析[D].燕山大学,机械电子工程,2014,硕士.
[7]樊燕萍.冬病夏治儿童咳喘贴治疗干预小儿哮喘病的回顾性研究[D].北京中医药大学,中医儿科学,2013,硕士.
[8]华广颖,张慧颖,赵先德,李天生.关联规则挖掘在企业运作策略调查问卷中的应用[J].工业工程,2004,02:47-51.
[9]石丽梅.基于融合技术的语音质量评价算法的研究[D].哈尔滨理工大学,信号与信息处理,2012,硕士.
[10]金晶.对外汉语初级口语教学中合作学习的实践研究[D].南京大学,汉语国际教育（专业学位）,2013,硕士.
[11]赵永宁,叶林,朱倩雯.风电场弃风异常数据簇的特征及处理方法[J].电力系统自动化,2014,21:39-46.
[12]成艳华,夏梦阁,孟周琪,武永涛,任怀银,姜永梅,刘洋,周哲,江晓泽,朱美芳.纳米复合水凝胶体系的设计合成与结构功能一体化构筑[J].高分子学报,2014,10:1342-1349.
[13]林炳文.连续血液滤过治疗高脂血症急性胰腺炎的疗效[D].福建医科大学,麻醉学,2014,硕士.
[14]张宇.通用船舶自动识别系统（AIS）及其关键技术研究[D].武汉理工大学,交通信息工程及控制,2004,硕士.
[15]钮烨烨.社会工作视角下的综合实践活动课程建设[D].华中师范大学,社会工作,2013,硕士.
[16]季峰.选题策划：出版业核心竞争力提升的关键[D].苏州大学,2004.
[17]魏雪婷.海陆联运下可折叠集装箱配置问题研究[D].大连海事大学,交通运输工程,2014,硕士.
[18]万树平.基于区间直觉梯形模糊数的多属性决策方法[J].控制与决策,2011,06:857-860+866.
[19]龙世铭.热控薄膜冲孔过程的仿真分析[D].兰州理工大学,机械制造及其自动化,2013,硕士.
[20]王占宁.黄金与其他主要贵金属价格的相关性研究[D].浙江大学,金融学（专业学位）,2013,硕士.
[21]蔡玷.单体液压支柱工作面有关技术经济问题的分析[J].煤炭科学技术.1983(02)
[22]张建航.快速格公钥密码方案的研究[D].西安电子科技大学,密码学,2012,硕士.
[23]毕尧.普通高校篮球教师有效教学行为表现研究[D].辽宁师范大学,体育教育训练学,2011,硕士.
[24]周峰,屈伟,郭天祥,林树枝.基于沉降控制的端承型复合桩基工程实践[J].岩石力学与工程学报.
[25]焦丽娜.葛根素对经IL-1β诱导的大鼠后纵韧带细胞MMP-9、COL-2的影响[D].福建中医药大学,针灸推拿学,2014,硕士.
[26]陈雷.钢框架—内填预制SRC抗侧力墙结构抗震性能试验研究与理论分析[D].长安大学,结构工程,2013,硕士.
[27]吴科成,林湘宁,鲁文军,刘沛.分层式电网区域保护系统的原理和实现[J].电力系统自动化,2007,03:72-78.
[28]焦艳.图的控制参数和一类极值问题[D].大连理工大学,计算数学,2004,硕士.
[29]李宇飞.基于ARM的智能视频监控系统的研究与设计[D].西安建筑科技大学,控制理论与控制工程,2013,硕士.
[30]牛韬.小型热电联产海水淡化系统的技术经济分析[D].华北电力大学（北京）,热能工程,2004,硕士.
[31]王爱丽.三类生态模型解的渐近性及一类造血模型的Hopf-分支[D].陕西师范大学,应用数学,2004,硕士.
[32]刘思洋.焦作市经济转型中的问题及对策研究[D].西南大学,区域经济学,2013,硕士.
[33]周益同.纳米纤维素/聚砜膜材料性能及蛋白纯化的研究[D].北京林业大学,林产化学加工工程,2013,硕士.
[34]邹云.人参皂甙Rg1对脓毒症小鼠的治疗作用及机制研究[D].第二军医大学,麻醉学（专业学位）,2013,硕士.
[35]浦健.冷却介质出流对透平叶片内、外流体运动特性影响的实验研究[D].中国科学技术大学,工程热物理,2014,博士.
[36]黄绪勇,刘沛,苗世洪,吴昕.无线传感自组网在电力监控中的应用动态[J].电力系统自动化,2007,07:99-103.
[37]赵冠远,张同越,陈鑫.低周反复荷载下高速铁路桥墩损伤评估[J].中国铁道科学,2014,06:28-33.
[38]王姣姣.冷季豆品质性状近红外模型建立及区域分析[D].中国农业科学院,农产品质量与食物安全,2014,博士.
[39]吴疆.光储混合并网/离网控制系统研究[D].山东大学,电力系统及其自动化,2013,硕士.
[40]代丽丹.积极老龄化视角下的老年志愿者研究[D].南京大学,社会工作（专业学位）,2013,硕士.
[41]金玉龙.《纽约时报》塑造的中国负面形象之研究[D].湖北工业大学,外国语言学及应用语言学,2013,硕士.
[42]白音宝力高.蒙古神话史诗中的人与自然的和谐研究[D].内蒙古师范大学,中国少数民族语言文学,2012,硕士.
[43]王新颖.承压阀门内漏声学检测方法研究[D].大庆石油学院,安全技术及工程,2004,硕士.
[44]甘伟.不同级配常温沥青混合料的性能及应用研究[D].重庆交通大学,道路与铁道工程,2012,硕士.
[45]邓磊.高校档案利用服务质量模糊综合评判的研究[D].大连海事大学,项目管理,2012,硕士.
[46]许威.星点快速提取与高精度定位技术研究[D].浙江大学,光学工程,2013,硕士.
[47]李绍萍.论《焦氏易林》与先秦两汉文学的融会贯通[D].福建师范大学,中国古代文学,2004,硕士.
[48]仝微微.聚乙烯亚胺及其衍生物和纳米颗粒对PCR优化作用机制研究[D].东华大学,2012.
[49]李浩.企业环境责任的伦理思考[D].中国政法大学,环境与资源保护法学,2004,硕士.
[50]朱行浩.反式异戊橡胶的性能及其应用[J].特种橡胶制品.1989(06)