碱性液腐蚀冶金多晶硅太阳电池表面织构的研究

【摘要】本研究用NaOH-NaClO3碱性腐蚀液制备冶金多晶硅表面织构,研究腐蚀液的配比、腐蚀温度和时间等因素对表面织构的影响。经过大量的对比实验,得到用NaOH-NaClO3体系腐蚀制备的多晶硅表面织构的最佳工艺条件：温度80℃,溶液配比NaClO3:NaOH-7:1(wt%),腐蚀40秒。腐蚀得到的表面织构呈类金字塔结构,织构分布均匀致密,可起到良好的减反射作用。冶金多晶硅表面的反射率测试给出：在入射光波长为650nm左右,用NaOH-NaClO3碱性腐蚀液制备的冶金多晶硅表面反射率为20.7%,比用HF-HNO3酸性体系腐蚀的冶金多晶硅表面反射率低1.8%。表明用廉价的碱性腐蚀液同样可制出效果良好的表面织构。将本研究成果用于生产少量冶金多晶硅太阳电池(156×156mm2),得到良好的表面减反射效果,使短路电流可达到8.44安培,比用常规HF-HNO3酸性腐蚀制作的同批电池高出3.2%。量子效率测试结果显示：在300-650nm波长范围内,用碱性腐蚀液制备织构的冶金多晶硅电池的量子效率明显高于酸性腐蚀的电池,明显改善了电池发射区的光学性能,增加了电池的光吸收和利用。用NaOH-NaClO3碱性腐蚀液制作多晶硅表面织构,可降低多晶硅电池的生产成本,腐蚀过程不需要制冷,有效降低能源消耗减少污染,所以本研究成果有很好的应用价值。
【作者】贾影；
【导师】李健；
【作者基本信息】内蒙古大学，物理电子学，2014，硕士
【关键词】冶金多晶硅；太阳电池；碱性腐蚀液；表面织构；光反射率；表面形貌；

【参考文献】
[1]孟繁奇.延吉盆地铜佛寺—大砬子组储层成岩作用及其对储层物性的影响[D].吉林大学,矿物学、岩石学、矿床学,2013,硕士.
[2]周子明.功能化核酸和新型纳米材料在生物医学光学传感检测中的应用[D].华中科技大学,2014.
[3]王德荣.中学物理教学中加强学生创新能力培养的探究[D].福建师范大学,2003.
[4]崔旭.足踝部疤痕的畸形整复[D].中南大学,临床医学,2014,博士.
[5]刘建华,胡光道.多源土地利用地学知识的获取与应用[J].资源开发与市场,2005,02:148-150.
[6]张瑞.基于图像识别的超精密加工环境监控系统[D].厦门大学,测试计量技术及仪器,2014,硕士.
[7]杨中锋.公平语境中的校车资源配置[D].浙江工业大学,2012.
[8]杨宏伟.人工林作为大熊猫栖息地适宜性研究[D].北京林业大学,生态学,2013,硕士.
[9]侯秀杰.缺失与拯救——试析毛姆对人性的探索[D].吉林大学,比较文学与世界文学,2004,硕士.
[10]赵建.基于软件无线电的数字频率调制解调技术实现[D].大连海事大学,信息与通信工程,2013,硕士.
[11]刘亮亮.全氟化碳对热烟雾吸入性肺损伤大鼠肺氧化应激保护作用实验研究[D].新乡医学院,内科学,2012,硕士.
[12]王茜.马尾松胚性培养物增殖与成熟DNA甲基化多态性研究[D].中南林业科技大学,森林培育,2014,硕士.
[13]杜金丽.英文语言学著作自序和他序语篇的情态对比研究[D].长安大学,外国语言学及应用语言学,2014,硕士.
[14]王卓.Study on the Relationship between Intercultural Sensitivity and Psychological Well-being Based on an Investigation in Chinese Overseas Students in Australia[D].西安外国语大学,英语语言文学,2014,硕士.
[15]杨丽珍.前列通窍胶囊与前列汤含药血清对家兔离体膀胱肌作用的比较性研究[D].云南中医学院,中西医结合基础,2012,硕士.
[16]刘和.猪繁殖与呼吸综合征病毒GP3蛋白结合肽的筛选与鉴定[D].东北农业大学,预防兽医学,2013,硕士.
[17]王谢宁.基于WebGIS实现多源空间数据集成管理的应用与研究[D].大连海事大学,计算机应用技术,2004,硕士.
[18]SudarakThongtrirattanagul.泰国电信服务质量客户忠诚度和行为意图的研究[D].上海外国语大学,工商管理,2014,硕士.
[19]崔小杰.完善我国著作权集体管理组织权利行使问题研究[D].内蒙古大学,民商法学,2014,硕士.
[20]米文强.渗透汽化卷式膜组件的CFD模拟[D].天津大学,制药工程,2013,硕士.
[21]沈文婷.行政侵权精神损害赔偿问题研究[D].辽宁大学,法律,2012,硕士.
[22]李欧.种质与产地对欧李果实品质及其抗氧化活性的影响[D].北京中医药大学,中药生药学,2013,硕士.
[23]杨敏.《亘史钞》研究[D].安徽大学,中国古代文学,2013,硕士.
[24]宝红胜.我国服刑人员劳动权法律保障研究[D].内蒙古大学,宪法学与行政法学,2013,硕士.
[25]韩光臣,司书宾,孙树栋.电子商务环境下分析型CRM体系结构[J].制造业自动化,2004,01:9-11+19.
[26]袁峰,周涛发,王世伟,范裕,汤诚,张千明,俞沧海,石诚.安徽庐枞沙溪斑岩铜矿蚀变及矿化特征研究[J].岩石学报,2012,10:3099-3112.
[27]邢韬.基于GaN纳米柱结构的反转有机太阳能电池的研究[D].西安电子科技大学,微电子学与固体电子学,2013,硕士.
[28]李文亮.UNIAN公司实施信息化的研究[D].华中科技大学,2004.
[29]周素霞.用周恩来精神培育大学生比较研究[D].宁夏大学,思想政治教育,2014,硕士.
[30]杨志锦,宋江云.邵逸夫:6000座逸夫楼的公共记忆[J].中国中小企业,2014,02:52-55.
[31]陈海波.博士伦制药公司应收账款管理研究[D].山东大学,工商管理（专业学位）,2013,硕士.
[32]徐甜.钙钛矿型含氮化合物电催化剂的制备及其性能研究[D].武汉理工大学,2014.
[33]华正豪.多位点酶切联合SSCP方法检测结核杆菌inhA全基因突变[D].复旦大学,内科学,2002,硕士.
[34]孟钰宇.数据中心机房监控系统的设计与实现[D].北京工业大学,软件工程（专业学位）,2013,硕士.
[35]李磊.《红楼梦》中称谓词的翻译研究[D].河北师范大学,语言学,2013,硕士.
[36]杨光.寿光市蔬菜质量安全监管的现状与对策[D].西北农林科技大学,农村与区域发展,2012,硕士.
[37]张晶晶,张礼敬,陶刚.人的可靠性分析研究[J].中国安全生产科学技术,2011,01:76-81.
[38]马晓婧.政治沟通视角下的政务微博分析[D].吉林大学,政治学理论,2014,硕士.
[39]王戬.三株不同禽源新城疫病毒的全基因组序列测定与分析[D].南京农业大学,生物化学与分子生物学,2012,硕士.
[40]杨凝.认知视阈下《围城》的概念隐喻及其英译研究[D].浙江财经学院,英语语言文学,2012,硕士.
[41]何晋浙,邵平,孟祥河,孙培龙.灵芝多糖的结构特征分析[J].分析化学,2010,03:372-376.
[42]杨晓辉,蔡旭.分形理论在中压电网故障辨识中的应用[J].电力系统自动化,2006,04:59-64.
[43]张博.江南水乡环境艺术色彩审美研究[D].北京林业大学,设计艺术学,2013,硕士.
[44]王浩成.基于联接的高效图聚类方法研究[D].辽宁大学,计算机软件与理论,2012,硕士.
[45]秦宁.小组工作在农村独居老人互助网络建构中的应用[D].华中科技大学,社会工作,2013,硕士.
[46]吴瑞军.马克思主义和谐社会理论中国化及当代价值研究[D].山西师范大学,马克思主义中国化研究,2014,硕士.
[47]刘勇.家蚕丝素重链基因敲除品系的建立及其应用[D].西南大学,生物化学与分子生物学,2013,硕士.
[48]张玲.学前教育专业音乐课程实施问题的研究[D].西南大学,教育学原理,2012,硕士.
[49]石雷.三十届奥运会男子篮球中国队与与赛队及前四强防守快攻的对比研究[D].北京体育大学,体育教育训练学,2013,硕士.
[50]韦巧婕.黄瓜土传枯萎病拮抗菌的筛选鉴定及其生物学效应研究[D].南京农业大学,植物营养学,2012,硕士.