基于SOI平面波导的表面等离子体共振传感器的研究

基于SOI平面波导的表面等离子体共振传感器的研究

作者:师大云端图书馆 时间:2018-10-22 分类:参考文献 喜欢:2485
师大云端图书馆

【摘要】随着社会经济的高速发展,人们的生活水平大幅提高,对生活品质的追求渐渐成为主流。而科学技术特别是在传感技术、生物技术的高度发展,也使人们对生活品质的追求变得更为现实与迫切。及时有效地开展重大疾病监控、环境保护、食品安全工作已刻不容缓,而生物传感技术已经在疾病检测、临床诊断、环境监控、食品检测上获得了广泛的应用。表面等离子共振(SurfacePlasmonResonance,SPR)传感器由于其免标记、高灵敏度、成本低、可以实时实地检测等优点,在生物传感领域具有很大的应用价值。本课题旨在研究一种高灵敏度的基于SOI材料的平面波导型表面等离子体共振传感器,它有别于目前商用的基于棱镜耦合的SPR传感器,具有更小的体积、更高的集成度。本文提出的平面波导表面等离子体传感器使用材料SOI(Silicon-on-insulator)来实现,研究了工作波长在1550nm波段的传感器。利用刻蚀面或解离端面作为反射端面,将传统的棱镜式结构移植到波导结构中,将检测简单化,真正地完成了实时检测。本文通过传输矩阵、FDTD理论对器件的波导结构、布局设计等进行了理论的仿真和优化,通过参数的优化,探测的灵敏度理论上可以达到22.4°/RIU。当设计出射阵列波导间的角度间隔为0.135。时,该器件的探测极限可以到达6.0×10-3RIU。本文还对SOI的表面等离子体共振传感器的制作工艺进行了研究,包括整个芯片制作过程中的半导体工艺,芯片侧壁的金属溅射工艺等。
【作者】张伟;
【导师】李明宇;
【作者基本信息】浙江大学,光学工程,2014,硕士
【关键词】表面等离子体共振(SPR);SOI材料;棱镜式耦合;生物芯片;端面耦合;

【参考文献】
[1]魏乐,张秋生,赵立彬.我国产业重组与转移:基于跨区域并购复杂网络的分析[J].经济地理,2012,02:89-93.
[2]陈镜宇.人参皂苷CK对实验性关节炎的治疗作用及其抗炎免疫调节机制[D].安徽医科大学,药理学,2014,博士.
[3]张浩.黄海绿潮爆发机制分析及防治研究[D].大连海事大学,环境工程,2013,硕士.
[4]邱小红.论叶卡捷琳娜二世时期中国在俄罗斯的形象[D].上海外国语大学,俄语语言文学,2013,硕士.
[5]莫士龙.刑事诉讼中的证据展示制度研究[D].安徽大学,法律,2003,硕士.
[6]丛祯垣.孕妇保健智能语音手机问答系统[D].浙江大学,生物医学工程(专业学位),2013,硕士.
[7]孔娟.纳美芬 纳洛酮与血液透析治疗急性重度酒精中毒的临床疗效观察[D].郑州大学,急诊医学(专业学位),2013,硕士.
[8]卢冰心.基于Galaxy的高通量生物数据分析平台[D].华东师范大学,计算机软件与理论,2013,硕士.
[9]余慧君.现代陶瓷玩偶设计研究[D].中南林业科技大学,工业设计工程,2014,硕士.
[10]李素萍.纳米ZnO对SBR系统活性污泥活性及硝化作用的影响[D].哈尔滨工业大学,环境科学与工程,2014,硕士.
[11]罗志虹.聚苯胺/石墨烯复合物的可控制备及其电化学电容性质[D].华中科技大学,2014.
[12]郭永清.北美鹅掌楸种子休眠机理及老化特性研究[D].南京林业大学,森林培育学,2004,硕士.
[13]丁国兴.元宝山发电厂培训与发展的体系研究[D].大连理工大学,工商管理,2003,硕士.
[14]唐子翠.克林顿政府时期美国国会对美国政府“一个中国”政策的挑战[D].四川外国语大学,英语语言文学,2014,硕士.
[15]张少龙.不同成人依恋类型大学生的矛盾情感研究[D].华中师范大学,应用心理学,2014,硕士.
[16]唐妍琳.美国合同法的公共政策研究[D].中国政法大学,比较法学,2014,硕士.
[17]黄志远.钢纤维增强筏形基础的试验和应用研究[D].河北工业大学,结构工程,2004,硕士.
[18]程希泽.基于J2EE的B/S架构项目资金综合管理系统设计[D].南昌大学,电子与通信工程(专业学位),2012,硕士.
[19]袁溯.西方发达国家公共服务市场化探究及其启示[D].湖南师范大学,行政管理,2013,硕士.
[20]赵喆.基于全寿命周期的绿色建筑经济评价体系[D].北京交通大学,2010.
[21]韩莹石.我国劳动合同解除制度之法律研究[D].甘肃政法学院,经济法学,2012,硕士.
[22]杨学跃.十六国、北朝之权力嬗代[D].宁夏大学,中国少数民族史,2014,博士.
[23]张颜.设立中公司订立合同的债务承担问题研究[D].广东财经大学,民商法学,2014,硕士.
[24]李彦斌.广州长和公司节电产品营销策略研究[D].兰州大学,工商管理(专业学位),2013,硕士.
[25]陈仁海.高炉透气指数系统仪表参数设计[J].冶金自动化,1994,04:54.
[26]谭娜.基于XML的空间信息元数据管理系统[D].河南大学,基础数学,2004,硕士.
[27]赵蓉.针刺对宫内窘迫HIBD新生大鼠脑组织中Cyt-C和bFGF表达的影响[D].广州中医药大学,针灸推拿学,2013,硕士.
[28]刘文轩.热带滨海地区度假酒店过渡空间的设计研究[D].北方工业大学,建筑设计及其理论,2013,硕士.
[29]赵龙.基于平衡计分卡(BSC)的企业信息化战略实施研究[D].安徽大学,情报学,2014,硕士.
[30]王传耀,杨华,刘琳,陈刚.一种适应长效保洁的小型水葫芦机械清理装置的设计[J].木工机床.2006(02)
[31]王冬霞,齐畅,周城旭,牛芳琳.二维DOA估计中麦克风阵列优化设计[J].大连理工大学学报,2015,01:.
[32]王金希.Banach空间中一类变分不等式解的适定性研究[D].辽宁工程技术大学,应用数学,2012,硕士.
[33]黄亚男.电晕处理对聚丙烯薄膜表面特征及印刷适应性影响的研究[D].合肥工业大学,材料工程,2013,硕士.
[34]胡广峰.钢铁企业产品质量管理信息系统的研究与开发[D].山东科技大学,2005.
[35]胡思略.灌区信息采集系统RTU的设计[D].哈尔滨理工大学,通信与信息系统,2012,硕士.
[36]代琼菊.学术期刊论文中科研成果推销策略研究[D].浙江大学,外国语言学与应用语言学,2014,硕士.
[37]潘则宇.沈阳市内五区老年人体育锻炼与生活质量关系研究[D].沈阳师范大学,体育教育训练学,2014,硕士.
[38]刘东华.W公司应急管理体系研究[D].南昌大学,工商管理(专业学位),2012,硕士.
[39]杜玲霞.西北居住建筑窗墙面积比研究[D].西安建筑科技大学,供热、供燃气、通风及空调工程,2013,硕士.
[40]李新城,陈伟,陈光,张开华.热轧温度控制对冷轧超深冲板深冲性能的影响[J].农业机械学报.2007(06)
[41]张艳杰.单参数平均的最优不等式[D].河北大学,基础数学,2014,硕士.
[42]童晓舟.新型OSRR结构研究及其在微波滤波器设计的应用[D].西安电子科技大学,电子与通信工程,2012,硕士.
[43]沈秀球.基于光学技术的神经细胞Ca~(2+)响应动力学实验研究[D].福建师范大学,光学工程,2012,硕士.
[44]贾磊.石墨烯作为电极在充电电池中应用的研究[J].无机盐工业,2015,02:38.
[45]陈慧霞.光通讯J公司供应商管理体系研究[D].华中科技大学,工商管理,2013,硕士.
[46]杨浩骏.基于随机灵敏度的服役船舶结构强度再加强方案研究[D].哈尔滨工业大学,船舶与海洋工程,2014,硕士.
[47]郭芸.装置艺术在展示设计中的应用[D].齐鲁工业大学,设计艺术学,2014,硕士.
[48]李旭军.创伤后肘关节功能障碍的外科治疗及影响疗效的相关因素分析[D].苏州大学,外科学(专业学位),2013,硕士.
[49]陈鹤.基于语义本体的社交网络服务推荐系统[D].吉林大学,通信与信息系统,2014,硕士.
[50]王晓鸣.生态文明视野下的水资源保护利用与可持续发展[D].内蒙古大学,马克思主义理论,2014,硕士.

相关推荐
更多