有机材料红外吸收特性研究

有机材料红外吸收特性研究

作者:师大云端图书馆 时间:2016-10-31 分类:参考文献 喜欢:4254
师大云端图书馆

【摘要】红外探测器件的敏感单元一般并不具备良好的吸收特性,而红外光的捕获吸收能力又直接影响器件的探测质量,故需要特别的红外吸收结构来提高红外吸收率。基于吸收结构的热质量和红外吸收系数的双重考虑,本课题进行了有机材料微结构红外吸收层的设计和制作,并测试分析了其红外吸收特性。首先,分析了红外吸收结构的吸收原理,基于构造多次反射增强红外吸收的机理设计了有机材料PDMS立方体阵列微结构红外吸收层;其次,通过硅母版的反应离子刻蚀制造和PDMS微结构的模压制造,在硫化锌表面制做了各种不同结构尺寸的PDMS立方体阵列。其中母版刻蚀主要进行了镀制铝薄膜掩模层,湿法腐蚀掩膜层铝薄膜的周期图形,母版的反应离子刻蚀制造;而模压的过程主要包括压印、固化、脱模。最后,测试比较不同PDMS结构的红外吸收系数可以得到最优的吸收模型,分析有机材料微阵列的结构尺寸和红外吸收效率的关系。实验结果:(1)测得铝薄膜不同尺寸阵列图形的湿法腐蚀速率;(2)得到不同开口尺寸阵列图形的bosch刻蚀制造工艺;(3)PDMS微结构红外吸收层大大提高了硫化锌表面的红外光吸收能力,在5μm~20μm的波段范围内相对吸收强度可从0.3提高到3.5左右;(4)最优吸收模型为:柱体表面边长为8μm,高度为20μm,单元间距为8μm的柱型微阵列结构。其红外相对吸收强度在5μm~12μm中长红外波段将近4.0,具有该吸收层的硫化锌样片透过率降到为最小的20%。
【作者】杜佳强;
【导师】刘卫国;
【作者基本信息】西安工业大学,光学工程,2014,硕士
【关键词】PDMS;红外吸收层;阵列微结构;反应离子刻蚀;模压;

【参考文献】
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